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發(fā)布時(shí)間:2019-09-19 來(lái)源:元祿光電
ITO是一種N型的氧化物半導(dǎo)體,中文名為氧化銦錫,因?yàn)槠鋵?dǎo)電性、透光率較好常用于玻璃或柔性材PET基材上的導(dǎo)電氧化物,用于觸摸屏、光伏、冷光片、傳感器、電致色玻璃、發(fā)光玻璃等行業(yè)。通常情況下利用平面磁控技術(shù)在玻璃或柔性PET等材料上濺射ITO材料,并通過(guò)高溫退火處理得到ITO鍍膜玻璃或薄膜材料。
ITO導(dǎo)電玻璃
而ITO鍍膜玻璃或薄膜原材料由于是一整塊都是ITO材料,應(yīng)用到觸控面板、顯示面板、太陽(yáng)能電池、微電子、光電子等領(lǐng)域中就需要對(duì)其進(jìn)行加工,形成特定線路圖,而對(duì)ITO材料的初加工工藝成了關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
ITO鍍膜玻璃或薄膜的材料線路成型加工主要有黃光曝光、化學(xué)蝕刻、等離子蝕刻以及激光刻蝕設(shè)備。
黃光曝光加工效果好,速度快,缺點(diǎn)是需要用到掩膜版,ITO線路要求有的多達(dá)數(shù)千種,每一種都需要掩膜版,這對(duì)設(shè)計(jì)加工的成本太高,就是存儲(chǔ)也會(huì)浪費(fèi)大量的空間,因此黃光曝光工藝目前只保留在特殊要求領(lǐng)域中使用。
黃光曝光設(shè)備(圖片源自網(wǎng)絡(luò))
化學(xué)蝕刻加工速度高,效果好,缺點(diǎn)是大量的化學(xué)試劑對(duì)人體和環(huán)境會(huì)造成污染,特別是在當(dāng)今社會(huì)中人與自然的協(xié)調(diào)愈加重要,環(huán)境問(wèn)題已加以限制,并控制在一定范圍內(nèi)。當(dāng)然化學(xué)蝕刻也有技術(shù)工藝缺點(diǎn)隨著下游產(chǎn)品對(duì)ITO鍍膜材料的要求越來(lái)越高,超細(xì)線寬的ITO材料化學(xué)蝕刻工藝已感到力不從心。
化學(xué)刻蝕設(shè)備(圖片源自網(wǎng)絡(luò))
等離子蝕刻效果和速度都非常理想,不過(guò)工藝流程較為復(fù)雜,灑家也不太明白具體的工藝流程,想想晶圓的制作流程,想來(lái)大家也知道了其復(fù)雜程度。不過(guò)相比較于ITO鍍膜材料的加工,等離子蝕刻設(shè)備還是小兒科了,很容易實(shí)現(xiàn),也有簡(jiǎn)易版的適用于ITO材料,相比較而言等離子刻蝕的成本相對(duì)較高。
等離子刻蝕設(shè)備(圖片源自網(wǎng)絡(luò))
激光刻蝕設(shè)備是目前的主流ITO刻蝕工藝,適用于柔性pet以及玻璃上的導(dǎo)電ITO激光刻蝕,優(yōu)點(diǎn)是工藝流程簡(jiǎn)單,導(dǎo)入CAD圖紙即可相機(jī)自動(dòng)定位加工,一次性成型,對(duì)環(huán)境無(wú)污染,無(wú)掩膜版,只用消耗電力,并且易于自動(dòng)化,加工尺寸可超過(guò)3m以上,優(yōu)勢(shì)顯而易見(jiàn)。目前ITO材料刻蝕的線寬要求越來(lái)越高,傳統(tǒng)的納秒紅外激光刻蝕機(jī)的最小線寬只能做到20微米,而隨著激光技術(shù)的進(jìn)步,ITO材料刻蝕最小線寬可做到10微米以下,可保持與ITO材料應(yīng)用行業(yè)需求的發(fā)展同步。
ITO激光刻蝕設(shè)備
ITO鍍膜玻璃、薄膜刻蝕工藝是太陽(yáng)能電池、觸摸屏、光電子等行業(yè)領(lǐng)域中重要工藝環(huán)節(jié),要保證生產(chǎn)效率、生產(chǎn)成本、環(huán)境保護(hù),ITO激光刻蝕機(jī)必不可少,武漢元祿光電專業(yè)生產(chǎn)激光刻蝕設(shè)備,擁有豐富的經(jīng)驗(yàn)、過(guò)硬的技術(shù),歡迎大家前來(lái)洽談了解。
推薦設(shè)備:導(dǎo)電玻璃激光刻蝕機(jī)
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