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導電銀漿、ITO、FTO、氧化鋅、氧化鋯、氧化鈦、氧化鎳、碳粉、金、銀、銅、鋁等導電金屬、石墨烯、碳納米管、氧化物、鈣鈦礦電池Spiro-OMeTAD、Perovskite、SnO2、C60、PCBM等鈣鈦礦電池材料激光刻蝕劃線處理
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可根據(jù)需求將整個加工部分置入手套箱內(nèi)加工
根據(jù)不同場景的需求,配置納秒脈寬的紅外光纖(1064nm)、綠光(532nm)波段光源;皮秒脈寬的紅外光纖(1064nm)、綠光(532nm)、紫外(355nm)波段光源;飛秒脈寬的紅外光纖(1030nm)、綠光(515nm)波段光源進行微精細激光刻蝕、劃線、構(gòu)造去除、劃片、表面剝離等應用。
適用于柔性PET/PI/PEN/玻璃等基底材料上的鈣鈦礦太陽能電池激光刻蝕劃線應用。
玻璃、PET、PI、PNT等基底上薄膜材料激光刻蝕,應用于觸摸屏、光伏太陽能電池、電至色玻璃等行業(yè)。
適用于導電銀漿、ITO、FTO、氧化鋅、氧化鋯、氧化鈦、氧化鎳、碳粉、金、銀、銅、鋁等導電金屬、石墨烯、碳納米管、氧化物、鈣鈦礦電池Spiro-OMeTAD、Perovskite、SnO2、C60、PCBM等材料處理。特別是針對鈣鈦礦電池領域的陰電極、鈣鈦礦空穴傳輸層、阻擋層、鈣鈦礦層、陽電極激光刻蝕劃線技術(shù)上有獨到的技術(shù)優(yōu)勢。
采用自主研發(fā)的控制軟件、直接導入CAD 數(shù)據(jù)CCD相機定位自動激光刻蝕,操作簡單,方便快捷;采用通過軟件實時調(diào)節(jié)振鏡與直線電機、電動升降工作臺的設計,加上真空吸附托盤裝置,能有效地解決激光刻蝕加工運行中的平穩(wěn)性。
設備集數(shù)控技術(shù)、激光技術(shù)、軟件技術(shù)等光機電高技術(shù)于一體,具有高靈活性、高精度、高速度等先進制造技術(shù)的特征??纱蠓秶鷥?nèi)進行各種圖案,各種尺寸的精密、高速刻蝕,并且能夠保證很高的產(chǎn)能,是一個可靠、穩(wěn)定和具有高性能價格比的產(chǎn)品。
主要構(gòu)成:激光器、光路系統(tǒng)、運動控制系統(tǒng)、電控制系統(tǒng)、定位系統(tǒng)、抽塵系統(tǒng)、真吸附空系統(tǒng)、大理石龍門結(jié)構(gòu)、鈑金結(jié)構(gòu)件等。
型號 | 納秒綠光ET200MG | 皮秒綠光 ET300MGPS | 皮秒紫外 ET300UV-PS | 飛秒紅外 ET300IR-FS | 飛秒綠光 ET300MG-FS | 實驗室刻蝕機 ET100IR/ET100MG | |
激光器 | 532nm | 532nm | 355nm | 1030nm | 515nm | 1064/532nm | |
功率 | 5/10W | 10/15/30W | 10/15/30W | 20/30/40W | 10W | 20W/5W | |
加工尺寸 | 100*100/200*200/300*300/400*300/600*600/600*900/700*1400mm可選 可定制加工幅面 | 110*110mm可選 | |||||
激光器頻率 | 30-150KHz | 1-1000KHz | 1-1000KHz | 25-5000KHz | 25-5000KHz | 1-2000KHz/ 30-100khz | |
振鏡 | 10/14mm通光孔徑 | 10mm通光孔徑 | |||||
聚焦鏡 | 40*40/70*70/110*110mm幅面(根據(jù)不同的應用場景選擇) | 100-140mm可選 | |||||
擴束鏡 | 4X | 2-8X可調(diào) | 1.5X | ||||
聚焦光斑 | <30μm | <10μm | <50μm | ||||
最小線寬 | <30μm | <10μm | <50μm | ||||
最大可根據(jù)需要可全部去除鍍層材料,如P4清邊處理 | |||||||
最小線間距 | <30μm | <10μm | <50μm | ||||
熱影響區(qū) | <5μm | <3μm | |||||
直線度 | ±10μm | ±5μm(最小可至±1μm) | ±20μm | ||||
Z軸電機行程 | 50mm(自動軟件控制) | 手動500mm | |||||
工作臺定位精度 | ±3μm | ±20μm | |||||
工作臺重復精度 | ±1μm | ±20μm | |||||
CCD相機定位精度 | ±3μm | ±10μm | |||||
刻蝕速度 | 最大刻蝕速度4000mm/s(單線) | ||||||
設備尺寸/重量 | 1200*1200*1700mm(300*00mm幅面內(nèi)) 約1000Kg 納秒 大尺寸及雙光路 1280*1400*1750mm(300*300mm幅面內(nèi)) 約1800Kg 皮秒/飛秒 電話聯(lián)系 1800*1800*1750mm(600*600mm幅面內(nèi)) 約2500kg皮秒/飛秒 | 1050*700*1660mm(L*W*H) 約300Kg | |||||
設備功耗 | <2500W | <3000W | <1500W | ||||
設備文件格式 | 標準CAD DXF文件 | DXF/PLT/JPG等 | |||||
備注:量產(chǎn)后一般采用多種波段激光配合使用,非單臺機器完成所有膜層制作。 |
溫馨提示:我公司提供“樣品免費加工”服務,您只需提交以下信息,我們會有專人與您聯(lián)系。您也可以直接來電垂詢。服務熱線:135-4505-0045。
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