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發(fā)布時(shí)間:2018-07-12 來(lái)源:元祿光電
ITO導(dǎo)電玻璃常用語(yǔ)觸摸屏行業(yè)以及光伏太陽(yáng)能行業(yè)中,是一種重要的透明導(dǎo)電氧化物。在作為成品之前需要對(duì)其進(jìn)行刻蝕,最終形成導(dǎo)電線路,作用到顯示行業(yè)或者是光伏行業(yè)。
ITO導(dǎo)電玻璃的刻蝕加工有兩種工藝方式,一種是化學(xué)刻蝕法,也稱之為濕法刻蝕;另一種是激光刻蝕法,也稱之為干法刻蝕?;瘜W(xué)刻蝕的缺點(diǎn)在于對(duì)環(huán)境的污染,線寬無(wú)非滿足越來(lái)越精細(xì)的要求,有點(diǎn)是效率高,初次投入成本低。激光刻蝕的優(yōu)點(diǎn)在于無(wú)耗材、無(wú)污染,通過(guò)高能量光束照射ITO玻璃,實(shí)現(xiàn)對(duì)ITO的汽化,形成線路圖,優(yōu)點(diǎn)在于可加工非常精細(xì)的線寬,精度高。
ITO激光刻蝕機(jī)
隨著應(yīng)用行業(yè)的發(fā)展,對(duì)加工技術(shù)的要求也不斷的提升,加工ITO導(dǎo)電圖的線寬、間隔都有了更高的要求。在與客戶溝通過(guò)程中常常會(huì)遇到的問(wèn)題是,ITO激光刻蝕機(jī)能不能做到20微米以下的線寬,加工的間隔能不能做到20微米,答案是肯定的,那么究竟ITO激光刻蝕機(jī)能做多小的線寬呢?
ITO線寬的粗細(xì)是根據(jù)激光器以及光學(xué)器件決定的,總體來(lái)說(shuō)在于聚焦的光斑大小以及光源對(duì)材料的熱影響。波長(zhǎng)越短、能量越低、脈寬越窄、擴(kuò)束鏡倍數(shù)越高、場(chǎng)鏡負(fù)面越小,聚焦的光斑越小,能夠做出來(lái)的線寬也就越細(xì),當(dāng)然以上提到的幾個(gè)參數(shù)都是有一個(gè)極限值的,如擴(kuò)束鏡的倍數(shù)越高,它的能量密度越差,也不利于加工。能量過(guò)低無(wú)非對(duì)ITO表面形成汽化,不能滿足加工需求也不行。因而我們需要取一個(gè)范圍值,去適用客戶的加工需求。
另外不同的材料,在采用同樣的激光刻蝕機(jī),做出來(lái)的線寬不一樣,比如鎳合金材料的刻蝕線寬要比ITO材料的線寬要粗,這取決于材料本身對(duì)激光波長(zhǎng)的吸收影響。本文暫不做解析,主要以ITO導(dǎo)電玻璃為參考材料。
目前元祿光電的工藝技術(shù)在ITO導(dǎo)電玻璃上做到的最小線寬是5微米,采用的是皮秒激光器,小透鏡的方式。而普遍的ITO玻璃在觸摸屏行業(yè)中的要求是在20-微米之間,這采用的是窄脈寬的紅外納秒激光器。不同的行業(yè)需求,對(duì)ITO線寬的要求不一樣,有的行業(yè)中對(duì)ITO線寬的阻值有比較高的要求,而光伏行業(yè)有部分則是要求保證刻斷、絕緣即可。
ITO激光刻蝕效果
ITO激光刻蝕效果
從中可以得出的結(jié)論是最小的ITO導(dǎo)電玻璃線寬在目前的激光市場(chǎng)范圍內(nèi)的最小線寬是5微米,根據(jù)不同的光源可選擇性做到不同的線寬,比如說(shuō)紫外納秒激光最小線寬可以做到15微米。當(dāng)然也有EUV光刻機(jī)采用極紫外激光器的手段能做到納米級(jí)別也說(shuō)不定,對(duì)線寬的要求,主要還在于客戶自身的產(chǎn)品需求而決定。
推薦產(chǎn)品:ITO導(dǎo)電玻璃激光刻蝕機(jī) http://cz-huawei.com/index.php/Index/productDetail/id/37.html
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