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高功率半導(dǎo)體激光器在激光加工等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用前景。如何同時(shí)獲得高功率、高功率密度、高光束質(zhì)量的半導(dǎo)體激光輸出已成為國(guó)際上的重大瓶頸技術(shù)問(wèn)題。

1、 國(guó)際進(jìn)展

德國(guó) Limo 采用 38個(gè)傳導(dǎo)熱沉封裝激光線陣，形成 8 個(gè)線陣合束單元，通過(guò)光束整形、偏振合束和四波長(zhǎng)合束。德國(guó) Dilas 采用 28 個(gè)經(jīng)過(guò)剪裁的激光線陣，然后通過(guò) 5 個(gè)波長(zhǎng)合束單元波長(zhǎng)合束，實(shí)現(xiàn) 500um 芯徑、NA 0.12 光纖輸出 3835W連續(xù)功率。

美國(guó)麻省理工（MIT）、美國(guó) Teradiode、美國(guó) Coherent、美國(guó) Aculight、法國(guó) Thales 和丹麥科技大學(xué)（DTU）采用外腔反饋半導(dǎo)體激光光譜合束技術(shù)取得重要進(jìn)展。美國(guó) Teradiode 公司于 2012 年推出芯徑 100μm、NA0.2 光纖輸出連續(xù)功率達(dá) 2000W 的產(chǎn)品，目前已經(jīng)達(dá)到6KW，亮度 1468MW/cm2·sr，光束質(zhì)量3.75mm·mrad，達(dá)到相同功率條件下商用全固態(tài)激光水平。

2、 近期目標(biāo)（2年左右）

通過(guò)空間合束、波長(zhǎng)合束、偏振合束研發(fā)出功率大于2kW光束質(zhì)量好于10mm·rad的高功率半導(dǎo)體激光器，攻克相關(guān)工藝技術(shù)難題，解決2 -4 mm左右厚鋼板的焊接機(jī)理與工藝。

3、 科學(xué)技術(shù)問(wèn)題

（ 1 ）半導(dǎo)體激光器光譜合束

采用外腔反饋光譜合束(Wavelength  Beam Combining,  WBC)將從半導(dǎo)體激光內(nèi)部振蕩與外部光學(xué)系統(tǒng)相結(jié)合方式出發(fā)，采用前腔面鍍?cè)鐾改さ陌雽?dǎo)體激光芯片與外部光學(xué)系統(tǒng)整體構(gòu)成諧振腔，每個(gè)激光單元振蕩波長(zhǎng)均與外部光柵色散和外腔反饋匹配，所有激光單元沿相同方向諧振，以保持近場(chǎng)和遠(yuǎn)場(chǎng)相重合方式輸出，實(shí)現(xiàn)合束激光的光束質(zhì)量與激光單元保持一致，而激光功率為所有激光單元總和。

重點(diǎn)研究外腔反饋光譜合束的基本原理，提出滿足工業(yè)要求的基于透射光柵的外腔反饋光譜合束結(jié)構(gòu)，并結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化，分析非光譜合束方向的激光單元位置對(duì)光譜合束的影響進(jìn)行分析，提出增強(qiáng)外腔反饋的方法，實(shí)現(xiàn)2kW以上功率的高光束質(zhì)量的激光輸出。

（2）半導(dǎo)體激光器的空間、偏振、波長(zhǎng)合束

空間、偏振、波長(zhǎng)合束是常見(jiàn)的三種完全非相干的光束合成技術(shù)。其核心思路，是將不同空間光強(qiáng)分布、不同偏振態(tài)和不同波長(zhǎng)的光束耦合到同一光路中，以達(dá)到成倍地提高功率密度的效果。

（3）半導(dǎo)體激光器的光纖耦合、光纖合束

重點(diǎn)研究不同結(jié)構(gòu)高功率半導(dǎo)體激光器的合束結(jié)構(gòu)與合適的光纖耦合方式和光纖合束方式。相比于半導(dǎo)體激光器的直接輸出，光纖耦合輸出能夠?qū)崿F(xiàn)光束的勻化、光束的較長(zhǎng)距離傳輸和光束質(zhì)量的優(yōu)化。

（4） 高功率半導(dǎo)體激光器焊接、切割應(yīng)用研究

高功率半導(dǎo)體激光器及焊接系統(tǒng)的開(kāi)發(fā) ， 高光束質(zhì)量高功率半導(dǎo)體激光器及切割系統(tǒng)的開(kāi)發(fā) ， 半導(dǎo)體激光器直接加工的防反射技術(shù) ， 高功率半導(dǎo)體激光器直接焊接切割機(jī)理與工藝優(yōu)化 。

高功率半導(dǎo)體激光器及其應(yīng)用，已經(jīng)培養(yǎng)碩士研究生4名，發(fā)明專(zhuān)利2項(xiàng)，湖北省、深圳市、溫州市等重大科技創(chuàng)新項(xiàng)目3項(xiàng)。

來(lái)源華中科技大學(xué)，編輯元祿光電cz-huawei.com